合格的原料水经原水泵增压后，通过流量计进入冷凝器进行热交换，再依次进入各效预热器，经热交换后温度比各效蒸发器加热蒸汽低 10-15℃，然后进入一效蒸发器经料水分配器喷射在加热管内壁，使料水在管内成膜状流动，被来自锅炉的蒸汽加热汽化，产生夹带水滴的二次蒸汽经三级分离后成为纯蒸汽和未被蒸发的原料水，进入下一效，重复上述过程，其余多效原理与效相同。唯有效加热蒸汽是由锅炉提供，该效冷凝水不能做为蒸馏水使用。其余各效冷凝水是由纯蒸汽冷凝，热源已被去除，故可作为合格蒸馏水。另外，末效的蒸馏剩水，因为夹带了全部料水中的杂质和热源，必须作为污水排放；末效产生的纯蒸汽进入冷凝器，同来自各效的冷凝水混合冷却，经排除不溶性气体后，成为注射用水，温度可达92-99℃。